高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一。介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式压力传感器。传感器件由MEMS 工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成。 对电路的工作过程进行了计算机仿真和试验,并给出了微型高温压力传感器的MEMS 工艺设计流程。 0 引 言 压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压...
